北方华创RRAM设备解决方案
日前，全球首颗采用嵌入式RRAM（Resistive Random Access Memory，阻变存储器）存储技术AMOLED显示驱动芯片完成开发和认证。该新型嵌入式RRAM显示驱动芯片由北方华创提供刻蚀和薄膜设备及工艺解决方案，存储器设计公司睿科微电子提供技术支持。
据介绍，嵌入式RRAM显示驱动芯片，突破了内置SRAM（静态随机存取存储器）+外置NOR Flash（NOR型闪存）的传统方案，显著提高补偿参数读取速度，降低成本和功耗，并优化空间利用，解决了显示驱动芯片行业中长期存在的生产成本高、效率低、面积大的痛点问题。嵌入式RRAM显示驱动芯片能够在保证高质量显示效果的同时，大幅提升生产效率和产品良率，为AMOLED显示/触控以及更先进显示技术提供更为高效和经济的解决方案。
不同于传统存储芯片，RRAM对芯片制造过程中的低温沉积、低损伤刻蚀等工艺提出了更严格的要求。作为国内领先的半导体设备供应商，北方华创提供了包含刻蚀、薄膜在内的关键RRAM设备及工艺解决方案。在薄膜沉积方面，北方华创eVictor系列薄膜沉积系统，在同一平台上集成多类薄膜加工腔室，单系统可实现包括基底清洁、电极沉积、阻变材料沉积工艺，显著提高生产效率，改善界面态，有效提升RRAM存储单元的性能一致性、芯片良率和可靠性；在刻蚀方面，北方华创NMC612系列设备加工能力出色，新型等离子体产生系统可保证RRAM器件低损伤，多区温控静电卡盘可实现晶圆精准温度控制，良好的控制均匀性、精准的电路图案转移、出色的反应腔内颗粒污染控制能力，可提高产品良率、延长设备维护周期、提升设备可靠性和稳定性。
展望未来，伴随AI IoT（智能物联网）、LLM（大语言模型）等技术的进步，采用RRAM作为嵌入式存储的OTP（一次性可编程存储器）、MTP（多次可编程存储器）、SRAM（静态随机存取存储器）和eNVM（嵌入式非易失性存储器）已成为业界趋势，将为人工智能与机器学习、智能移动终端、可穿戴设备、车载显示系统及未来众多应用领域带来无限发展机遇。
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