半导体装备
主要产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等领域，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。
真空装备
研发的真空热处理装备、气氛保护热处理装备、连续式热处理装备、晶体生长装备、镀膜装备在金属及非金属材料、真空电子、医疗、新能源(光伏、汽车、氢能、储能)、半导体材料、磁性材料等领域取得广泛应用。
精密元器件
持续推动元器件向小型化、轻量化、高精密方向发展，研发的石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件、模拟芯片、模块电源等产品，应用于高铁、智能电网、通信、医疗电子、精密仪器、自动控制等领域，为客户打造高端精密电子元器件技术、产品、服务一体化的专业解决方案。
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